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IEC 62047-27:2017 半导体器件 - 微机电装置 - 第27部分:使用微V形切口试验(MCT)的玻璃熔料键合结构键合强度测试

标准号
IEC 62047-27:2017
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标准类别
IEC
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简介

半导体器件 - 微机电装置 - 第27部分:使用微V形切口试验(MCT)的玻璃熔料键合结构键合强度测试 (IEC 62047-27:2017) Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 27: Bond strength test for glass frit bonded structures using micro-chevron-tests (MCT) 标准发布组织为IEC,国际组织机构所属TC 47/SC 47F。

IEC62047-27:2017标准适用于微机电系统(MEMS)技术领域的压电薄膜材料特性测试,主要规定了压电薄膜在微纳尺度下的性能评估方法和测试要求,包括压电系数、介电常数、弹性常数等关键参数的测量技术。该标准适用于MEMS器件设计、制造过程中使用的压电薄膜材料,为相关产品的研发、生产和质量控制提供统一的测试依据,适用于半导体、传感器、执行器等微纳器件领域的压电材料特性表征。

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