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IEC 63068-4:2022 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷无损识别准则 第4部分:光学检测与光致发光联合法缺陷识别与评价程序

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简介

半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷无损识别准则 第4部分:光学检测与光致发光联合法缺陷识别与评价程序 (IEC 63068-4:2022) Semiconductor devices - Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices - Part 4: Procedure for identifying and evaluating defects using a combined method of optical inspection and photoluminescence 标准发布组织为IEC,国际组织机构所属TC 47。

IEC63068-4:2022标准适用于电气和电子设备中使用的压电振动能量收集装置的设计、测试和评估,主要针对利用环境振动能量转换为电能的压电器件,规定了其性能参数、测试方法和可靠性要求,适用于工业、消费电子、医疗设备等领域中能量收集系统的开发和应用。

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