半导体器件 - 微机电装置 - 第3部分：拉伸试验用薄膜标准测试片 (IEC 62047-3:2006) Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing 标准发布组织为IEC，国际组织机构所属TC 47/SC 47F。
IEC62047-3:2006标准适用于微机电系统（MEMS）领域中的薄膜材料，具体规定了用于MEMS的薄膜材料的测试方法，包括机械性能的测量和评估。该标准主要针对厚度在几微米以下的薄膜材料，适用于半导体、电子、光学和其他相关行业中的MEMS器件制造过程。它为薄膜材料的拉伸性能、残余应力、弹性模量等关键参数的测试提供了统一的测量程序和技术要求，确保测试结果的可靠性和可比性。