半导体器件 - 用于能量收集和发电的半导体器件 - 第3部分：基于振动的电磁能量收集 (IEC 62830-3:2017) Semiconductor devices - Semiconductor devices for energy harvesting and generation - Part 3: Vibration based electromagnetic energy harvesting 标准发布组织为IEC，国际组织机构所属TC 47。
IEC62830-3:2017标准适用于半导体器件中压电薄膜的测试方法，主要针对用于微电子机械系统（MEMS）和其他电子设备的压电薄膜材料。该标准规定了压电薄膜的机械和电学性能测试程序，包括压电系数、介电常数和弹性常数的测量方法。它适用于研发、生产和质量控制过程中对压电薄膜特性的评估，为相关行业提供了统一的测试标准，确保测量结果的可比性和可靠性。