半导体器件 - 微机电器件 - 第37部分：传感器用MEMS压电薄膜环境试验方法 (IEC 62047-37:2020) Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application 标准发布组织为IEC，国际组织机构所属TC 47/SC 47F。
IEC62047-37:2020标准适用于微机电系统（MEMS）领域中的薄膜材料机械性能测试方法，特别是针对微米和纳米尺度下薄膜材料的拉伸性能测试。该标准规定了测试设备、样品制备、测试程序和数据处理的要求，适用于半导体、电子、光学和传感器等工业领域中使用的薄膜材料，旨在提供可靠且可重复的测试方法以评估薄膜材料的机械性能。