微电子器件可靠性是研究微电子器件在各种工作条件和环境应力下保持其功能和性能稳定性的学科领域。它涉及器件设计、制造工艺、材料特性、封装技术以及长期使用中的退化机制分析。可靠性研究的主要目标是评估器件寿命、预测失效模式并提高产品耐用性，确保器件在规定的使用寿命内满足性能要求。该领域涵盖热载流子效应、电迁移、栅氧退化、互连可靠性等关键问题，通过加速老化试验、失效分析和统计建模等方法进行可靠性评估与改进。微电子器件可靠性对集成电路、功率器件、MEMS等产品的质量保证和工业应用具有决定性作用，是半导体行业的核心技术指标之一。