JISC5630-30-2020是日本工业标准中关于半导体器件微机电器件（MEMS）的一项标准，具体为第30部分，主要规定了MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法。该标准详细描述了如何准确测量压电薄膜在机电转换过程中的关键特性参数，包括压电系数、机电耦合系数、频率响应等。通过标准化的测试流程和方法，确保测量结果的可靠性和可比性，为MEMS器件的设计、制造和应用提供技术依据。该标准适用于各类基于压电薄膜的MEMS器件，如传感器、执行器等，广泛应用于消费电子、汽车电子、医疗设备等领域。