JISC5630-28-2020是日本工业标准中关于半导体器件微机电器件的一个部分，具体针对振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法。该标准详细规定了这类能量收集装置的测试条件和评估方法，以确保其性能符合设计要求。振动驱动MEMS驻极体能量收集装置是一种利用环境振动能量转换为电能的微型器件，广泛应用于无线传感器网络、物联网设备等低功耗电子系统。该标准涵盖了测试环境、输入振动条件、输出电性能测量、耐久性评估等关键测试项目，为制造商和研究人员提供了统一的测试依据，以确保产品的可靠性和一致性。该标准的制定有助于推动MEMS能量收集技术的标准化发展，提高相关产品的市场竞争力，并促进其在工业、医疗、消费电子等领域的广泛应用。