微机电系统(MEMS)工艺基础与应用是一本由邱成军、曹姗姗和卜丹合著的教材，于2016年出版。该书系统介绍了MEMS技术的工艺基础及其应用领域，内容涵盖MEMS的基本概念、关键工艺技术、器件设计与制造方法以及典型应用案例。书中结合理论与实践，详细讲解了MEMS加工工艺如光刻、刻蚀、薄膜沉积等核心技术，同时探讨了MEMS在传感器、执行器等领域的实际应用。该书适合作为高等院校微电子、机械电子等相关专业的教材，也可供从事MEMS研究与开发的工程技术人员参考。