微机电系统工程基础是一门研究微机电系统（MEMS）设计、制造、测试和应用的学科。它结合了机械工程、电子工程、材料科学和计算机技术等多个领域的知识，专注于开发微型化、集成化和智能化的机电系统。课程内容通常包括微机电系统的基本原理、微加工技术（如光刻、刻蚀、薄膜沉积等）、微传感器与微执行器的设计与应用，以及系统集成与封装技术。学生通过学习可以掌握MEMS器件的设计方法、制造工艺和实际应用，为未来在半导体、生物医学、航空航天、消费电子等领域的研发工作打下基础。该学科强调理论与实践相结合，涉及仿真软件的使用、实验操作和实际案例分析，旨在培养具备跨学科背景的工程技术人才。