泛结构化微机电系统集成设计方法是一种针对微机电系统（MEMS）的先进设计策略，旨在通过模块化和标准化手段提高设计效率和系统性能。该方法通过分解复杂MEMS器件为可重用的功能模块，并建立统一的接口规范，实现不同工艺和材料的灵活组合。其核心优势在于能够显著缩短设计周期，降低开发成本，同时保证器件的可靠性和一致性。该设计方法特别适用于需要快速迭代和多物理场耦合分析的MEMS产品开发，为惯性传感器、微流控芯片等典型MEMS器件的批量化生产提供了有效的技术支撑。