微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第2部分：选材与评价 (T/CSCP 0059.2-2025) 团体名称为中国腐蚀与防护学会
主要起草人：黄增浩、杨小佳、卢壹梁、张强、李晓刚、程学群、廖永力、郝文魁、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、马宏驰、王晓芳、杨丙坤、黄路遥、韩钰
起草单位：南方电网科学研究院有限责任公司、北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司
范围：本文件规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的选材的基本原则、常用材料类型及其性能要求，以及材料评价方法。本文件适用于 MEMS 材料腐蚀芯片及传感器在设计、制造与材料选型过程中的材料选择与性能评价，其他类型的材料腐蚀传感器也可参照使用。
内容简要 标准主要规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的通用性选材方法，包括选材原则、常用材料类型及其性能指标等内容。适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器在设计、制造和材料选型阶段的材料选择…