半导体器件 - 微机电系统器件 - 第38部分:MEMS互连中金属粉末浆料粘附强度的测试方法 (IEC 62047-38:2021) Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 38: Test method for adhesion strength of metal powder paste in MEMS interconnection 标准发布组织为IEC,国际组织机构所属TC 47/SC 47F。
IEC62047-38:2021标准适用于微机电系统(MEMS)领域的微型能量收集器件,规定了这些器件在性能评估、可靠性测试和环境适应性方面的技术要求,适用于设计、制造和测试阶段,旨在确保器件在各种应用场景下的稳定性和兼容性。