微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第4部分：元器件选型及测试 (T/CSCP 0059.4-2025) 团体名称为中国腐蚀与防护学会
主要起草人：杨小佳、李晓刚、程学群、郝文魁、黄路遥、张强、卢壹梁、黄增浩、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、廖永力、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、韩钰、马宏驰
起草单位：北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司
范围：本文件规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验和使用过程中的元器件选型及测试。
内容简要 标准规定了MEMS材料腐蚀芯片及传感器的元器件部分的技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存规范。适用于由金属、半导体、聚合物等多种材质构成的MEMS材料腐蚀芯片及…