T/CEMIA 030-2022 半导体用正胶显影液

半导体用正胶显影液 (T/CEMIA 030-2022) 为中国电子材料行业协会发布。

本文件规定了半导体用正胶显影液的分类和标记、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。 本文件适用于半导体用正胶显影液，其主要组分为通过季铵盐化合物电解制得的四甲基氢氧化铵。 四甲基氢氧化铵的基本信息见附录A中的A.1。