半导体器件 - 微机电装置 - 第42部分：压电MEMS悬臂梁机电转换特性的测量方法 (IEC 62047-42:2022) Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 42: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever 标准发布组织为IEC，国际组织机构所属TC 47/SC 47F。
IEC62047-42:2022标准适用于微机电系统（MEMS）领域中的压电薄膜材料特性测试方法，主要规定了压电薄膜材料的性能参数测量技术和评估要求，包括压电系数、介电常数、弹性常数等关键参数的测试程序，适用于MEMS器件设计、制造过程中使用的压电薄膜材料性能表征和质量控制，为MEMS相关产业提供统一的测试标准。