半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法 (IEC 62047-2:2006) Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials 标准发布组织为IEC，国际组织机构所属TC 47/SC 47F。
IEC62047-2:2006标准适用于半导体器件中的微机电系统（MEMS）技术领域，具体规定了MEMS器件的术语、定义和基本测试方法。该标准主要针对微米和纳米尺度下的机电系统，为MEMS器件的设计、制造和测试提供统一的技术规范，适用于MEMS传感器、执行器及相关微型器件的开发和应用。