半导体器件 - 微机电器件 - 第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置性能测试方法 (IEC 62047-28:2017) Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices 标准发布组织为IEC，国际组织机构所属TC 47/SC 47F。
IEC62047-28:2017标准适用于微机电系统（MEMS）领域中的薄膜材料特性测试，特别是针对用于MEMS器件的薄膜材料的机械性能测量方法。该标准规定了测试薄膜材料拉伸性能的具体要求和程序，包括样品制备、测试条件和数据处理方法，旨在为MEMS行业提供统一可靠的薄膜材料机械特性评估规范，确保测试结果的可比性和准确性。