半导体器件 基于扫描的半导体器件退化水平评估 (GB/Z 107-2025) 国家标准《半导体器件 基于扫描的半导体器件退化水平评估》由TC78（全国半导体器件标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
起草单位：中国电子科技集团公司第五十八研究所、无锡中微腾芯电子有限公司、中国电子技术标准化研究院、工业和信息化部电子第五研究所、北京智芯微电子科技有限公司、西安卫光科技有限公司、无锡市晶源微电子股份有限公司。
起草人：万永康 、何静 、虞勇坚 、季伟伟 、宋国栋 、帅喆 、凌勇 、印琴 、张凯虹 、李锟 、贺致远 、李德建 、李飞 、常婷婷 、苏卡 。