《Springer手册精选系列·晶体生长手册(第4册):蒸发及外延法晶体生长技术》是一本系统介绍蒸发法和外延法晶体生长技术的专业手册。本书详细阐述了这两种重要晶体生长方法的基本原理、工艺参数、设备设计以及实际应用。内容涵盖真空蒸发、分子束外延(MBE)、化学气相沉积(CVD)等关键技术,同时探讨了薄膜生长动力学、界面控制和缺陷形成机制等核心问题。书中还提供了大量工业应用案例和最新研究进展,适合材料科学、半导体物理、微电子等领域的科研人员和工程师参考使用。