《微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列:微机电耦合动力学》由许立忠和孙丽波合著,2015年出版。本书系统介绍了微机电系统(MEMS)中的机电耦合动力学理论、建模方法及其应用。内容涵盖微尺度下的机电耦合效应、动力学行为分析、数值模拟技术以及典型MEMS器件的设计与优化。书中结合理论与实例,为读者提供了深入理解微机电系统动力学特性的重要参考,适合MEMS领域的研究人员、工程师及高校师生阅读。