微米纳米技术是一门研究微米和纳米尺度下材料、器件及系统的设计、制造、应用的前沿交叉学科。它结合了微电子、机械、材料、化学和生物等多领域知识,主要关注1微米至100纳米尺寸范围内的结构、器件和系统的开发与应用。该技术的核心在于利用微纳尺度的独特物理、化学和生物特性,实现传统技术无法达到的功能和性能。微米纳米技术广泛应用于集成电路、MEMS(微机电系统)、传感器、生物医学器件、光学器件、能源存储与转换等领域。例如,在生物医学中可用于药物递送系统和疾病诊断设备;在电子领域推动芯片小型化和高性能化;在能源领域提升太阳能电池和电池效率。该技术的关键挑战包括精密制造工艺、材料特性控制、规模化生产以及跨学科协作等。随着技术进步,微米纳米技术正在推动多个行业的革新,成为21世纪最重要的技术发展方向之一。
