本研究针对sic基无线高温压力传感器的设计与制备工艺展开深入探讨。通过优化材料选择与结构设计,重点解决高温环境下信号传输稳定性与传感器耐久性问题。在制备工艺方面,系统研究了sic薄膜沉积、微纳加工及高温封装等关键技术,开发了适用于极端环境的新型无线传感方案。研究成果将为航空航天、能源化工等领域的极端环境监测提供可靠的技术支持。