电子能谱分析（EDX，EnergyDispersiveX-raySpectroscopy）是一种用于材料成分分析的常用技术。它通常与扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）结合使用，通过检测样品受电子束激发后产生的特征X射线，来确定样品中元素的种类和含量。EDX技术具有快速、无损、高灵敏度等特点，广泛应用于材料科学、地质学、生物学、半导体工业等领域。它可以提供样品的元素组成信息，帮助研究人员了解材料的化学成分分布，并辅助进行质量控制、失效分析等任务。EDX分析的基本原理是：当高能电子束轰击样品时，样品中的原子内层电子被激发并产生空位，外层电子跃迁填补空位时会释放特征X射线。不同元素的X射线能量具有特定值，通过检测这些X射线的能量和强度，即可确定样品中的元素种类及其相对含量。该技术适用于固体样品，能够分析从轻元素（如碳、氧）到重元素（如金、铅）的广泛范围，是材料表征中不可或缺的工具之一。
