国家标准GB/T15909-2009《电子工业用气体硅烷(SiH₄)》是由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局和中国国家标准化管理委员会联合发布的一项国家标准。该标准主要规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。硅烷(SiH₄)是一种重要的电子工业用气体,广泛应用于半导体制造、太阳能电池生产等领域。该标准的制定旨在确保硅烷气体的质量和安全性,满足电子工业对高纯度气体的严格要求,同时规范生产、检验和使用过程中的各项技术指标。GB/T15909-2009适用于电子工业用硅烷气体的生产、检验和贸易,为相关企业提供了统一的技术依据,有助于提升产品质量和市场竞争力。该标准的实施对促进电子工业的健康发展和技术进步具有重要意义。
