四探针法测电阻率

四探针法测电阻率是一种常用的半导体材料电阻率测量方法。该方法通过使用四个等间距排列的金属探针与被测样品表面接触，在外侧两个探针通入恒定电流，同时测量内侧两个探针间的电压降，根据公式计算出样品的电阻率。四探针法的优点在于能够消除接触电阻和引线电阻的影响，特别适用于薄层材料和高阻材料的测量。该方法操作简便、测量精度高，被广泛应用于半导体工业、材料科学研究等领域。