石墨烯薄膜 方块电阻的测定 四探针法 (YB/T 6166-2024) 主管部门为工业和信息化部,行业分类所属制造业。
起草单位:江苏省特种设备安全监督检验研究院(国家石墨烯产品质量检验检测中心(江苏))、冶金工业信息标准研究院、青岛华高墨烯科技股份有限公司、苏州晶格电子有限公司、南京大学
起草人:杨永强、区炳显、李倩、郭洪云、丁海龙、于葛亮、王勤生、田子健、张萧丹、王群、张维旭
本文件规定了石墨烯薄膜的方块电阻测定方法,包括方法原理、仪器设备、测试条件、测试步骤、结果计算与数据采集和测试报告等。本文件适用于目视平整、附着在衬底表面的石墨烯薄膜方块电阻的测定,石墨烯薄膜的长和宽均不小于50mm。方块电阻的测量范围为1×10-3Ω~1×103Ω。本文件也可适用于更高或更低方块电阻的测量,但其测量精确度尚未评估。