扫描电子显微镜（ScanningElectronMicroscope，简称SEM）是一种利用电子束扫描样品表面来获取高分辨率图像的显微镜。与光学显微镜不同，SEM使用电子束代替可见光，能够提供更高的放大倍数和更清晰的图像细节。SEM的工作原理是通过电子枪发射电子束，经过电磁透镜聚焦后扫描样品表面。电子与样品相互作用后产生多种信号，如二次电子、背散射电子等，这些信号被探测器接收并转换为图像。SEM的图像具有较大的景深，能够清晰显示样品表面的三维形貌。SEM广泛应用于材料科学、生物学、纳米技术、半导体工业等领域，可用于观察样品的微观结构、成分分析和表面形貌表征。样品通常需要经过导电处理（如镀金或镀碳），以减少电荷积累对成像的影响。SEM的优势包括高分辨率（可达纳米级）、大景深以及能够结合能谱仪（EDS）进行元素分析，使其成为科学研究与工业检测中不可或缺的工具。
