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T/DZJN 521-2026 半导体设备用石英材料零部件火加工技术规范

发布日期:2026-03-19,实施日期:2026-03-19,下载格式PDF。
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简介

半导体设备用石英材料零部件火加工技术规范 (T/DZJN 521-2026) 团体名称为中国电子节能技术协会

主要起草人:-

起草单位:-

内容简要 石英材料零部件火加工的堆料、焊接、对接、折弯加工、火补修理的工艺规程,以及石英火加工零部件的质量检测方法、环境管控、清洗要求、设备及辅料要求和焊工要求。…

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