半导体设备用全氟醚橡胶密封制品 (T/CASME 1953-2025) 团体名称为中国中小商业企业协会
主要起草人：刘韬、徐丹、刘雪莲
起草单位：江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司
范围：本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
内容简要 本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。…
简介
半导体设备用全氟醚橡胶密封制品 (T/CASME 1953-2025) 团体名称为中国中小商业企业协会
主要起草人：刘韬、徐丹、刘雪莲
起草单位：江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司
范围：本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
内容简要 本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。…