T/CASME 1953-2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

半导体设备用全氟醚橡胶密封制品 (T/CASME 1953-2025) 团体名称为中国中小商业企业协会

主要起草人：刘韬、徐丹、刘雪莲

起草单位：江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司

范围：本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。

内容简要 本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。…