碳化硅单晶 (T/IAWBS 001-2017) 团体名称为中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
主要起草人：陆敏、刘振洲、彭同华、郑红军、王文军、林健、闫果果、刘春俊、何丽娟、钮应喜、彭燕、陈海芹
起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司、北京天科合达新材料有限公司、新疆天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京华进创威电子有限公司、北京三平泰克科技有限责任公司、河北同光晶体有限公司、山东大学、全球能源互联网研究院
适用范围：
内容简要 本标准规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产…