气相沉积法碳化硅涂层 (T/CNIA 0011-2019) 团体名称为中国有色金属工业协会
主要起草人：于伟华、王彬、田新、张春伟
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、江苏协鑫特种材料科技有限公司
内容简要 本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层（以下简称碳化硅涂层）的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以甲基三氯硅烷和氢气为主…
气相沉积法碳化硅涂层 (T/CNIA 0011-2019) 团体名称为中国有色金属工业协会
主要起草人：于伟华、王彬、田新、张春伟
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、江苏协鑫特种材料科技有限公司
内容简要 本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层（以下简称碳化硅涂层）的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以甲基三氯硅烷和氢气为主…