石英玻璃碇 第3部分：等离子化学气相沉积法 (JC/T 2392.3-2023) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。
起草单位：中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司
起草人：杜秀蓉、孙元成、宋学富、张晓强、杨学东、杨晓会、王京侠、花宁
本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料，在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的石英玻璃碇。