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JB/T 4081-1991 溅射离子泵型式与基本参数

发布日期：1991-07-22，实施日期：1992-07-01，下载格式PDF。

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简介

溅射离子泵型式与基本参数 (JB/T 4081-1991) 主管部门为机械电子工业部。

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