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JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

发布日期：1992-12-24，实施日期：1993-07-01，下载格式PDF。

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简介

溅射离子泵性能测试方法 (JB/T 2965-1992) 主管部门为机械工业部。

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