化学气相沉积炉 (YS/T 1031-2015) 主管部门为工业和信息化部，行业分类所属制造业。
起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
起草人：戴煜、 胡祥龙、 胡高健等
本标准适用于化学气相沉积。
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