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SJ/T 11490-2015 低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法

发布日期:2015-04-30,实施日期:2015-10-01,下载格式PDF。
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简介

低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法 (SJ/T 11490-2015) 主管部门为工业和信息化部。

起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人:章安辉、何秀坤、刘兵 等

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