低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法 (SJ/T 11489-2015) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人：章安辉、何秀坤、刘兵 等
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