集成电路器件用镍钒合金靶材 (YS/T 936-2013) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等
起草人：董亭义、何金江 等
YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
标准号
YS/T 936-2013
下载格式
PDF
发布日期
2013-10-17
实施日期
2014-03-01
标准类别
行业标准
集成电路器件用镍钒合金靶材 (YS/T 936-2013) 主管部门为工业和信息化部。
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等
起草人：董亭义、何金江 等
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