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YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

发布日期:2013-10-17,实施日期:2014-03-01,下载格式PDF。
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简介

集成电路器件用镍钒合金靶材 (YS/T 936-2013) 主管部门为工业和信息化部。

起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等

起草人:董亭义、何金江 等

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