本标准规定了硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额的术语和定义、能耗统计范围、计算方法、能耗限额等级及技术要求。本标准适用于生产硅基晶圆（包括抛光片、外延片等）的制造企业，用于单位产品能源消耗的计算、考核与评价。