《MEMS技术及应用》是由蒋庄德教授编著的一本关于微机电系统(MEMS)的专业书籍,2018年出版。该书系统介绍了MEMS技术的基本原理、设计方法、制造工艺以及典型应用,涵盖了从基础理论到实际工程应用的全面内容。书中不仅详细讲解了MEMS器件的设计与制造技术,还结合了国内外最新研究成果,展示了MEMS在传感器、执行器、生物医学、航空航天等领域的广泛应用。该书适合作为高等院校相关专业的教材,也可供从事MEMS研究和开发的工程技术人员参考。
MEMS技术及应用 蒋庄德 (2018版)
《MEMS技术及应用》是由蒋庄德教授编著的一本关于微机电系统(MEMS)的专业书籍,2018年出版。该书系统介绍了MEMS技术的基本原理、设计方法、制造工艺以及典型应用,涵盖了从基础理论到实际工程应用的全面内容。书中不仅详细讲解了MEMS器件的设计与制造技术,还结合了国内外最新研究成果,展示了MEMS在传感器、执行器、生物医学、航空航天等领域的广泛应用。该书适合作为高等院校相关专业的教材,也可供从事MEMS研究和开发的工程技术人员参考。
MEMS技术及应用 蒋庄德 (2018版)