《MEMS与微系统：设计、制造及纳尺度工程（第2版）》是国外电子与通信教材系列中的一本经典教材，全面介绍了微机电系统（MEMS）和微系统的设计、制造及纳尺度工程的核心内容。本书结合理论与实践，系统讲解了MEMS的基本原理、材料特性、加工工艺、设计方法以及实际应用。第2版在原有基础上进行了更新和扩展，增加了纳米技术、先进制造工艺和新兴应用领域的最新进展，使内容更加贴近当前技术发展趋势。本书适合作为高等院校电子工程、机械工程、材料科学及相关专业的高年级本科生和研究生的教材，也可供从事MEMS和微系统研发的工程师和科研人员参考。通过本书的学习，读者可以深入理解MEMS技术的基本概念和实际应用，掌握相关设计和制造技能，为未来在微纳技术领域的研究和工作打下坚实基础。