洁净系统在IC厂房中起着至关重要的作用，直接影响产品的良率和生产环境的稳定性。不同的洁净系统方案在性能、能耗、成本和维护等方面各有优劣，需要根据具体需求进行选择和优化。常见的IC厂房洁净系统方案包括：1.**FFU（风机过滤单元）系统**：采用分布式风机和高效过滤器，灵活性高，适合局部高洁净度需求，但能耗相对较高。2.**MAU（新风处理机组）+HEPA（高效过滤器）系统**：集中送风，配合高效过滤，适用于大面积洁净区域，运行稳定但初期投资较大。3.**DC（干盘管）+FFU混合系统**：结合温湿度独立控制与局部净化，节能效果显著，但对系统协调性要求较高。在选择洁净系统时，需综合考虑洁净度等级（如ISOClass1-9）、能耗效率、空间布局、长期维护成本等因素，以确保系统的高效稳定运行。