微晶硅薄膜太阳能电池是一种利用微晶硅材料制成的薄膜太阳能电池。它结合了非晶硅和晶体硅的优点，在制造中采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术，在低温下将硅薄膜沉积在玻璃或柔性基板上。微晶硅由晶粒尺寸为纳米级的硅晶体和非晶硅基质组成，具有较高的光吸收系数和较好的稳定性。该电池通常以p-i-n结构构成，其中本征层（i层）为微晶硅，负责吸收光产生载流子。相比非晶硅电池，微晶硅对红外光响应更好，且光致衰减效应更弱，因此转换效率更高。微晶硅电池常与非晶硅电池结合成叠层结构，如微晶硅/非晶硅串联电池，以提高整体效率。它适用于光伏建筑一体化和便携式设备，但制造成本较高，需要优化沉积速率和均匀性。总体而言，微晶硅薄膜电池在效率和稳定性间取得了平衡。