扇出型封装结构是一种先进的集成电路封装技术,主要用于高密度互连和高性能电子设备。其核心特点是通过重新分布层(RDL)将芯片的I/O触点扩展到芯片边缘之外,实现更灵活的布线设计。这种结构突破了传统封装中I/O数量受芯片尺寸限制的问题,支持更细的线宽线距,适用于多芯片集成和异质集成场景。扇出型封装方法主要包括以下关键步骤:首先进行芯片放置和模塑料成型,形成重构晶圆;然后通过光刻和电镀工艺制作重新分布层;最后完成凸点或焊球植球等互连工艺。典型方法有扇出型晶圆级封装(FOWLP)和扇出型面板级封装(FOPLP),后者能显著提升生产效率和降低成本。这种方法省去了基板和引线框,具有更薄的外形、更好的散热性能和更高的信号传输效率,广泛应用于移动设备、汽车电子和5G通信等领域。