电子衍射是一种利用电子束与物质相互作用产生的衍射现象来研究物质结构的技术。当高能电子束穿过晶体或薄膜样品时,电子与样品中的原子发生相互作用,产生衍射图案。这些图案携带了样品的结构信息,如晶格常数、晶体对称性和缺陷等。电子衍射技术具有高分辨率的特点,能够探测纳米尺度的结构细节。常见的电子衍射方法包括透射电子衍射(TED)、选区电子衍射(SAED)和低能电子衍射(LEED)等。这些技术在材料科学、纳米技术、生物学和化学等领域有广泛应用,用于分析晶体结构、相变、缺陷和界面等。电子衍射与X射线衍射和中子衍射互补,但由于电子与物质的相互作用更强,特别适合研究薄膜、表面和微小晶体样品。该技术是透射电子显微镜(TEM)的重要功能之一,为微观结构表征提供了有力工具。
