掠入射X-射线衍射（Grazing-IncidenceX-rayDiffraction,GIXRD）是一种用于表征薄膜、表面和界面结构的X-射线衍射技术。与传统XRD不同，GIXRD采用极小的入射角（通常小于临界角），使X-射线在样品表面发生全反射，从而增强表面敏感度并减少来自基底的信号干扰。该技术广泛应用于薄膜材料、纳米结构、表面改性层等超薄样品的晶体结构、取向、应变和缺陷分析，特别适用于厚度在几纳米到几百纳米范围内的样品表征。GIXRD能够提供表面和界面的结构信息，同时保持对块体材料的非破坏性检测优势。