SEMIF47-0200-2000是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)制定的一项标准。该标准主要针对半导体制造设备,规定了设备在电压暂降和短时中断情况下的抗扰度要求。其目的是确保半导体生产设备在电力质量波动时仍能保持稳定运行,减少因电压问题导致的生产中断和设备损坏。该标准广泛应用于半导体行业,帮助制造商提高设备可靠性和生产效率。