ASTME498/E498M-11(2017)是一项标准实践方法,专门用于使用质谱仪检漏仪或残余气体分析仪(T模式)进行泄漏检测。该标准详细规定了在真空条件下利用质谱技术检测和定位泄漏的操作流程和技术要求。它适用于各种工业设备和真空系统的泄漏测试,包括但不限于航空航天、半导体制造和真空设备行业。标准中包含了仪器校准、测试程序、灵敏度评估以及结果报告等方面的指导,旨在确保测试的一致性和可靠性。该标准的最新版本(2017年)对先前版本进行了修订和更新,以反映当前的技术发展和行业最佳实践。

ASTME498/E498M-11(2017)是一项标准实践方法,专门用于使用质谱仪检漏仪或残余气体分析仪(T模式)进行泄漏检测。该标准详细规定了在真空条件下利用质谱技术检测和定位泄漏的操作流程和技术要求。它适用于各种工业设备和真空系统的泄漏测试,包括但不限于航空航天、半导体制造和真空设备行业。标准中包含了仪器校准、测试程序、灵敏度评估以及结果报告等方面的指导,旨在确保测试的一致性和可靠性。该标准的最新版本(2017年)对先前版本进行了修订和更新,以反映当前的技术发展和行业最佳实践。

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