飞秒激光作用下单晶硅的吸收系数和烧蚀阈值是研究激光与材料相互作用的重要参数。飞秒激光由于超短脉冲和高峰值功率的特性,在单晶硅中引发非线性吸收效应,导致吸收系数随激光强度变化而显著改变。烧蚀阈值则反映了单晶硅在飞秒激光作用下发生烧蚀所需的最低能量密度,这一参数对激光微加工和表面处理工艺的优化至关重要。研究这些参数有助于深入理解飞秒激光与单晶硅的相互作用机制,并为精密加工应用提供理论依据。